高溫腐蝕是選擇余熱鍋爐主蒸汽溫度時主要考慮的問題。由于垃圾焚燒余熱鍋爐中的高溫腐蝕主要由HCL引起，且發生部位主要在管壁溫度最高的過熱器段，根據高溫氯腐蝕曲線，當溫度超過500℃后，因氯化鐵或堿鐵硫酸鹽的分解而引起的過熱器管壁高溫腐蝕加劇。到了650℃左右，腐蝕速度達到最大值。因此要嚴格控制過熱器入口煙溫在650℃以下。主蒸汽溫度的提高導致過熱器溫壓降低，過熱器面積增加，同時為了提高材料的抗腐蝕性能需要選用耐熱耐腐蝕的優質合金鋼材料(12Cr1MoVG等)，甚至在部分過熱器采用鎳基管或合金鋼鎳基堆焊技術來延長管壁的使用壽命，這些設計提高了設備投資成本。

有研究表明，垃圾焚燒過程中硫的存在可以減輕高溫氯腐蝕，氣態的SO2、SO3與堿金屬氯化物發生反應，生成薄而致密的堿金屬硫酸鹽覆蓋在金屬表面，阻礙了HCl和Cl2的擴散。因此，可選擇在垃圾中添加含硫化合物如硫酸銨，或其他能捕捉金屬氯化物的化合物，以減少管壁表面的氯離子濃度。

另外，垃圾分類對垃圾進行減量化處理，提高了垃圾熱值，使得入爐垃圾成分均勻，降低氯元素在入爐垃圾中的含量，可以減輕高溫氯腐蝕，同時減少二噁英的排放。